电子玻璃基板再热收缩率测试方法综述

作者：王伟来,田英良,陈鑫鑫,刘亚茹,王为,孙诗兵,吕锋

摘要：电子玻璃基板是平板显示关键基础材料,随着信息显示产业的发展,TFT-LCD、OLED等显示产品在玻璃表面镀膜刻蚀形成的半导体控制电路越来越精细,在低于玻璃应变点温度进行热处理加工,会导致玻璃结构致密化,使玻璃基板产生收缩效应,称为“再热收缩”。重点介绍了电子玻璃基板再热收缩率7种测试表征方法,包括密度法、拉丝法、模拟法、比长法、压痕法、膨胀仪法和激光法,并且对每种方法的测试原理、优缺点进行分析和阐述,综合而言,比长法和膨胀仪法可用于测量精度要求不高的玻璃品种,而激光法是最为精确和可靠的测量方法,可满足LTPS制程玻璃品种的再热收缩率测量。

发文机构：北京工业大学材料科学与工程学院 平板显示玻璃技术和装备国家工程实验室 国家玻璃器皿产品质量监督检验中心

关键词：电子玻璃再热收缩率收缩效应测试方法膨胀仪法激光法electronic glassreheating shrinkage rateshrinkage effecttest methoddilatometer methodlaser method

分类号： TQ171.73[化学工程—玻璃工业]