电子行业洁净室用过滤材料性能研究与评价

作者：李帅,郭晓蓓,余佳彬,张振,尹奕玲,徐涛,匡新波,吴涛

摘要：对洁净室及空气过滤器的相关概念进行了简述,使用扫描电子显微镜、PMI孔径测试仪等手段,研究了PTFE复合空气滤纸的结构特点,通过分析结构与性能之间的关系,得到了过滤材料结构和性能的粗略对应关系,并能初步预测各滤料的过滤性能。

发文机构：南京玻璃纤维研究设计院膜材料公司

关键词：洁净室空气过滤器PTFEcleaning roomair filterPTFE

分类号： TQ171.777.75[化学工程—玻璃工业]