我国光掩模玻璃基板的发展现状及趋势

作者：刘志海

摘要：1光掩模玻璃基板的定义及种类1.1光学掩模板的定义及分类1.1.1光学掩模板的定义光学掩模板,又称光掩模板、掩模板、掩膜版、光掩膜、光刻掩膜版、光罩等,在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位,以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构,是微电子制造中光刻工艺所使用的图形母版。光掩模板应用十分广泛,在涉及光刻工艺的领域都需要使用光掩模板,主要用于集成电路(IC)、平板显示器(FPD)、印刷电路板(PCB)、微机电系统(MEMS)等领域。

发文机构：不详

关键词：玻璃基板光刻工艺玻璃基体光致抗蚀剂微电子制造光学掩模掩模板光掩膜

分类号： TQ171[化学工程—玻璃工业]