拉曼光谱仪在基板玻璃表面污染物分析中的应用研究

作者：王答成,刘晓芳,曾召

摘要：为分析对策基板玻璃制造后加工过程中的表面污染问题,提升产线良率,需要对表面污染物进行形貌、成分分析。对污染样品取样,用光学显微镜进行外观形貌观察,用拉曼光谱仪进行污染物成分分析,然后进一步分析其来源,采取针对性的对策。实践表明:使用拉曼光谱仪在对基板玻璃表面污染物成分分析方面效果显著,能满足产线对表面污染物的分析要求。

发文机构：彩虹显示器件股份有限公司电子玻璃研究院

关键词：拉曼散射瑞利散射拉曼光谱污染物Raman scatteringrayleigh scattingRaman spectrumPollutants

分类号： TQ171[化学工程—玻璃工业]