基于吸波结构的THz谐振器及其传感特性

作者：郭函,马文英,马长伟,唐雨竹

摘要：设计了一种基于吸波结构的THz谐振器。该结构单元由三开口金属谐振环、有损绝缘基板及连续金属膜组成,分别对FR4材料基板以及PI基板的THz谐振器进行仿真,分析了两种介质损耗不同的中间层基板对THz谐振器的吸收率及品质因数的影响。结果表明,选用较低介质损耗的PI材料作为中间层基板的THz谐振器,其欧姆损耗吸波效应更明显,吸波峰较选用较高介质损耗的材料作为中间层基板的THz谐振器有所频移,吸收率有所衰减,而Q值、灵敏度、FOM值更高。通过优化,在0.982 THz附近得到一个3 dB带宽约为6.88 GHz的吸波谱,相应的Q值为142.73,其吸收率为0.936。最后对THz谐振器的传感特性进行了测量,其折射率灵敏度为48.21 GHz/RIU,FOM值为7.01/RIU,具有较高的传感特性。

发文机构：成都信息工程大学通信工程学院 四川大学电子信息学院

关键词：太赫兹吸波结构谐振器传感特性terahertzabsorbing structureresonatorsensing characteristics

分类号： TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]