多维色谱技术检测电子气SF6中10种痕量杂质的研究

作者：魏王慧,于瑞祥,姜阳,高艳秋,董翊,任逸尘,陈鹰

摘要：使用多维气相色谱,通过反吹、中心切割等操作技术,对六氟化硫电子气中的10种杂质检测进行了方法开发,并系统地描述了三种电子气检测方法的开发过程和经验技巧,方法重复性好、检测效率高,可作为标准操作规范向社会开放共享。

发文机构：上海市计量测试技术研究院

关键词：多维色谱六氟化硫气体杂质反吹中心切割multi-dimensional chromatographysulfur hexafluoride gasimpurityback-flushingcenter-cutting

分类号： O657.7[理学—分析化学]