超高纯氘气的气相色谱分析方法研究

作者：李国伟,杨献奎,张长金,杨万吉,郑秋艳

摘要：对于半导体行业用超高纯氘气现无完善的分析方法。实验建立了一种基于低温气相色谱-脉冲放电检测器的超高纯氘气的分析方法。采用中心切割与柱切换技术设计了一套分析系统,可以同时对氘气中的O2、N2、CO、CO2、CH4、H2、HD进行分析。通过实验确定了色谱的最佳工作参数和切阀时间。结果表明,该分析方法结果稳定、重现性高,可以适用于工业检验。

发文机构：中国船舶集团有限公司第七一八研究所

关键词：氘气氢同位素气相色谱deuteriumhydrogen isotopegas chromatography

分类号： TQ117[化学工程—无机化工]O657.7[理学—分析化学]