高纯气体中微量杂质分析方法

作者：单静,王莹,王杰,靳鹏杰,吉雪霞

摘要：主要概述了高纯气体中微量水、微量氧、碳氧化物和碳氢化合物含量的测试方法、原理、分析注意事项,并就当前化验工作现状,归纳出了微量杂质分析存在的不足以及今后的发展重点。

发文机构：中国酒泉卫星发射中心

关键词：高纯气体微量水微量氧碳氧化物和碳氢化合物含量high purity gastrace watertrace oxygencarbon oxide and hydrocarbon content

分类号： TQ116.02[化学工程—无机化工]