一种6N级高纯四氟化硅自动化纯化装置

摘要：申请(专利)号:CN201922368735.0,公开(公告)日:2020-11-24,申请(专权)人:中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司,摘要:本实用新型公开了一种6N级高纯四氟化硅自动化纯化装置,属于气体纯化技术领域。所述装置包括:吸附塔、除轻塔、除重塔、气体检测器、信号接收及反馈装置、控制器,循环管路、充装气动阀门、循环气动阀门、充装钢瓶和原料钢瓶。

关键词：四氟化硅气动阀门气体检测器实用新型循环管路特种气体反馈装置气体纯化

分类号： F42[经济管理—产业经济]