晶圆车间搬举作业环境的工效学评估与改善

作者：宗涛

摘要：针对半导体企业晶圆生产车间作业人员中,普遍存在的肌肉骨骼劳损问题,基于典型晶圆车间掩膜加工区域的物料搬运过程,展开作业人员日常作业的搬举分析,识别出作业环境设计所造成的作业者肌肉骨骼劳损风险因素,并有针对性地提出作业设施的改善设计方案。仿真实验结果说明,改善实施方案能够有效改善作业者的作业环境,缓解产生肌肉骨骼劳损的风险。车间现场的局部应用也验证了其可行性与有效性。

发文机构：西安科技大学机械工程学院

关键词：晶圆车间搬举作业肌肉骨骼劳损作业环境CATIAwafer fabricationlifting operationwork-related musculoskeletal symptomsoperation environmentCATIA

分类号： TP391.9[自动化与计算机技术—计算机应用技术][自动化与计算机技术—计算机科学与技术]