基于AHP和规则的多目标晶圆制造派工方法的应用

作者：全鹏,李娜,江志斌,闵亚能

摘要：针对半导体晶圆制造系统调度的时变多目标特性,提出基于AHP和规则的多目标派工方法,在不同时期,赋予各调度目标不同的权重,通过仿真实验得到判断矩阵,然后用层次分析法来选择各设备的派工规则,并进行了敏感性分析,为半导体晶圆制造系统的科学管理提供了有效的实现途径。

发文机构：上海先进半导体制造股份有限公司 上海交通大学机械与动力工程学院

关键词：晶圆制造时变多目标派工规则层次分析法wafer fabricationtime-variable multi-objectivedispatching ruleanalytic hierarchy process

分类号： F406[经济管理—产业经济]