基于粒子群算法的半导体制造设备预维修调度

作者：马慧民,许圣良,叶春明,张爽

摘要：对半导体制造设备的预维修调度问题进行了研究，建立了半导体制造设备预维修调度的数学模型，分别提出了用于求解该问题的启发式方法和粒子群算法方案，阐明了两种算法方案的具体实现过程。通过对仿真实例进行计算和结果比较，表明了粒子群算法优于启发式方法，取得了不错的优化效果。

发文机构：上海电机学院经济管理学院 上海理工大学管理学院

关键词：半导体设备预维修调度二进制粒子群算法先来先服务semiconductor equipmentpredicted maintenance schedulingparticle swarmoptimizationFIFO

分类号： TP29[自动化与计算机技术—控制科学与工程][自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]