基于自治与协调的半导体晶圆制造系统实时派工方法

作者：江志斌,张怀,刘惠然

摘要：提出一种基于自治与协调的实时派工机制，并在此基础上研究面向瓶颈设备的实时派工算法，该算法针对瓶颈设备动态漂移的特性，根据不同的状态闽值采用不同的派工规则以进行控制。通过基于拓展型面向对象Petri网仿真平台的实验证明，该算法在绩效水平上优于其他两种算法。并且采用响应曲面法和期望函数对仿真结果进行优化，以获得更好的系统绩效。

发文机构：上海交通大学工业工程与管理系

关键词：自治与协调实时派工机制动态瓶颈派工算法响应曲面法autonomy ＆ coordinationreal-time dispatching mechanismdynamic bottleneck dispatching algorithmresponse surface methodology

分类号： TP391.9[自动化与计算机技术—计算机应用技术][自动化与计算机技术—计算机科学与技术]