基于DBR理论的半导体晶圆厂生产作业控制

作者：郭永辉,钱省三

摘要：通过设置回流缓冲，修正了传统的DBR（Drum-Buffer-Rope）理论，提出了一套适合带回流生产线的生产安排方法。结合Little’s Law与约束理论（TOC），设置了更合理的瓶颈缓冲、回流缓冲以及出货缓冲大小。针对瓶颈设备生产安排中产生的负荷堆积情况进行推平，并进一步提出减少瓶颈资源闲置现象的方法，以增加系统产出。算例结果也充分说明了方法的有效性。

发文机构：郑州航空工业管理学院工业工程系 上海理工大学微电子发展研究中心

关键词：DBR理论晶圆制造回流缓冲设置生产控制DBR theorywafer manufacturing processre-entranttime bufferproduction control

分类号： TP278[自动化与计算机技术—控制科学与工程][自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]