设备管理及监控的应用案例分析

作者：刘三,蒋祖华

摘要：以大型半导体制造企业为应用背景,应用在线设备监测系统TFM,对生产中心的生产设备运作信息进行实时集成和同步反馈,实现设备运行状态数据的显示、设备维护计划的查询和决策、设备生产效率的比较分析。把反映生产设备运行状态的动态数据提炼为形象直观的分析图形,实现可视化信息管理,提高生产中心现场设备管理水平。

发文机构：上海交通大学机械与动力工程学院 上海交通大学机械与动力工程学院 上海

关键词：可视化管理实时反馈设备管理设备监控加工中心全面监控visual managementreal-time monitoringequipment managementequipment monitoringTFM（Total Fab Monitoring）

分类号： F273.4[经济管理—企业管理][经济管理—国民经济]