电子级多晶硅生产尾气中无定型硅的产生原因及预防措施

作者：陈叮琳,张才刚,李有斌,俞朝

摘要：文章通过分析SiHCl3氢还原与尾气回收工艺过程,寻找伴生无定型硅生成的客观原因;根据无定型硅少产生、早拦截的原则,提出电子级多晶硅生产中无定型硅的预防措施,可以有效减少无定型硅的产生,提高气相沉积过程循环氢气纯度,进而提升电子级多晶硅产品质量。

发文机构：青海黄河水电新能源分公司

关键词：电子级多晶硅无定型硅预防措施electronic grade polysiliconamorphous siliconprotective measures

分类号： F42[经济管理—产业经济]