高纯氨装卸管路问题的探讨

作者：沈钦赐

摘要：随着国内经济的发展,电子工业和半导体工业正逐步崛起。高纯氨是一种高纯气体。其生产过程的自动化程度和精度远高于普通氨相关企业。国家有关法律法规滞后于高纯氨装卸生产管理需要,政府有关部门对氨装卸的要求过于笼统,脱离了高纯氨生产的现状,这给高纯氨企业的正常生产带来了困难。讨论制定高纯氨装卸设备条件和操作技术标准迫在眉睫。

发文机构：联氨精密气体（厦门）有限公司

关键词：高纯氨太阳能LED7Nppb氦检漏率LEDhigh purity ammonia7 Nineppbhelium leak detection rate

分类号： TQ113.25[化学工程—无机化工]