多晶硅残液工业化处理方式的探讨

作者：董丽萍,张升学

摘要：文章介绍了连续旋转干燥技术和真空转鼓过滤技术在处理多晶硅残液中的应用,描述了两种技术的工艺流程、特点及经济性比较,为多晶硅生产企业在残液处理的技术选择提供参考。

发文机构：中国恩菲工程技术有限公司

关键词：连续干燥真空转鼓过滤多晶硅残液

分类号： O627.41[理学—有机化学]