光刻胶剥离液再生过程影响产品色度的控制条件研究

作者：王新亮,袁珂,岳秀伟

摘要：文章介绍了光刻胶剥离液在电子行业的应用背景以及剥离液再生对于液晶面板生产的重要影响。正文首先介绍了影响再生液色度的主要原因,列举了可能造成产品色度不合格的各种生产条件。其次,简要说明了再生液生产过程的工艺流程及工艺参数。最后,根据数据分析及生产试验,得出影响再生液产品色度的工艺控制主要指标有:第一分离器的温度、系统真空度及重沸器液位等。

发文机构：陕西高科环保科技有限公司

关键词：光刻胶剥离液产品色度再生液温度液位

分类号： TQ421[化学工程]