碳纳米管在微纳电子器件中的应用与研究

作者：张庆玲,李运琴

摘要：碳纳米管(CNT)作为一种新型碳纳米材料,除具有传统碳材料的优良性质外,还具有比表面积大、机械强度大、硬度大、小尺寸效应、量子效应、热稳定性高以及导电性好等独特的电化学特性,成为应用于微纳电子器件中的理想功能材料。与传统电子器件相比,碳纳米管微纳电子器件的各项性能均更优越。文章着重介绍了碳纳米管的制备方式及其在微纳电子中的应用。

发文机构：江苏中建工程设计研究院有限公司河南分公司 国家能源大规模物理储能技术（毕节）研发中心

关键词：碳纳米管微纳电子导电性应用carbon nanotubemicro and nano electronicelectrical conductivityapplication

分类号： TB383.1[一般工业技术—材料科学与工程]TN03[电子电信—物理电子学]