黎明院承担的国家科技重大专项通过现场测试验收

作者：张金彪

摘要：2020年5月14日,黎明院承担的国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”之子项目“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”,顺利通过项目组的现场测试与评审,2项产品均满足立项要求。黎明院首席技术官牛学坤及科技部、课题承担相关负责人参加评审会。国家重大专项(“02”专项)项目组专项办公室责任专家马振宇教授牵头,会同相关档案、财务和电子气体下游用户组成验收专家组。专家组详细听取了黎明院所承担课题的进展汇报,针对项目合同规定的各项技术指标、知识产权指标、人才建设、产业化指标和经费使用情况,逐项查验。并现场测试气体,确认产品的实际纯度。

发文机构：不详

关键词：四氟化碳成套工艺六氟化硫电子气体制造装备评审会经费使用情况首席技术官

分类号： F42[经济管理—产业经济]