电解法制备三氟化氮粗气成分的快速分析

作者：孙晓,魏磊,酒坤,李梅,高英武,车永强

摘要：在对电解法制三氟化氮(NF3)的粗气采样检测中,采用负压式自动采样装置并选用合适的干燥器采样,避免了用双联球采样方式中双联球被腐蚀而堵塞的缺陷。实验结果表明,采用负压式采样检测可有效提高采样效率和分析结果的准确性,且分析结果重复性良好,适用于电解法制备NF3电解槽粗气的快速取样分析。

发文机构：洛阳黎明大成氟化工有限公司

关键词：三氟化氮粗气负压式自动采样装置快速取样crude nitrogen trifluoride gasnegative pressure type automatic sampling devicerapid sampling

分类号： TQ124.3[化学工程—无机化工]