化学推进剂与高分子材料 · 2020年第2期54-54,共1页

多氟多氢氟酸产品出口到韩国高端半导体企业

作者:王连心

摘要:2019年下半年,多氟多抓住日韩贸易战机会,电子级氢氟酸稳定批量出口韩国高端半导体制造企业,使电子级氢氟酸产品打开国门走向世界。据了解,由于电子级氢氟酸市场化应用门槛极高,2017年之前,国内芯片行业所用的电子级氢氟酸几乎全由日本、美国、欧洲、中国台湾等国家和地区进口。目前,多氟多电子级氢氟酸的产品性能已经优于行业内SEMI-C12标准,阴离子(各种酸根离子)质量分数<5×10^–9,阳离子质量分数<10×10^–12,颗粒(粒径≥0.2μm)≤10个/mL,完全可满足国内主流8″、12″集成电路生产的工艺要求。

发文机构:不详

关键词:半导体企业批量出口多氟多集成电路生产国内主流走向世界酸根离子中国台湾

分类号: F42[经济管理—产业经济]

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