飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)分析技术

作者：李展平

摘要：飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)是目前应用最广泛的表面分析技术之一,是一种具有高质量分辨本领(质量分辨率)和高空间分辨(空间分辨率)的表面分析技术,适用于有机、无机、生物、医学、电子、地质/考古、环境等各种领域的各种固体材料的分析。本文对TOF-SIMS分析技术的发展、原理、基本构成、特点和应用领域等方面做了全面介绍。

发文机构：有机光电子与分子工程教育部重点实验室

关键词：TOF-SIMS表面分析固体材料分析TOF-SIMSsurface analysissolid material analysis

分类号： P575.9[天文地球—矿物学]