普发真空 全新涡轮分子泵HiPace350和HiPace450

摘要：普发真空推出全新HiPace 350和HiPace 450涡轮分子泵,该产品特别适用于质谱分析、电子显微术、测量技术、粒子加速和等离子体物理方面的应用。新产品的应用领域十分广泛,除了用于分析、真空工艺和半导体技术外,还可用于真空镀膜、研发以及工业领域。HiPace 350和HiPace 450性能强大、重量轻且占地面积小。凭借由前级真空侧陶瓷球轴承和高真空侧永磁径向轴承所组成的混合轴承,HiPace系列涡轮分子泵的轴承非常坚固,确保了最佳的可靠性。

关键词：涡轮分子泵半导体技术电子显微术等离子体物理粒子加速占地面积真空镀膜径向轴承

分类号： F42[经济管理—产业经济]