制备条件对反应溅射制备的a—SIC：H膜结构和特性的影响

作者：王印月,王辉耀

摘要：通过红外透射谱，可见－紫外透射反射谱和电导率的测量，研究制备条件（射频功率Ｐ和ＣＨ４流量比ｒｃ）对反应溅射法制备的ａ－Ｓｉｃ：Ｈ膜的结构和特性的影响。结果发现，当Ｐ＝３２０Ｗ，ｒｃ＝３．４１％时，膜的质量较好：带尾较窄，膜中Ｃ成四配位，ＳｉＣ键数目较多，Ｅｏｐｔ〉２ｅＶ。对实验结果作了初步讨论。

关键词：非晶硅碳膜反应油射法制备射频功率

分类号： O484.1[理学—固体物理][理学—物理]