降低应力开裂的新型FPA

摘要：Dyneon PFA—FlexUHP是超高纯度PFA含氟聚合物的新增系列品种，设计用于半导体加工的管道系统。随着在这些应用中越来越多地采用含氟表面活性剂作为润湿剂，也就需要材料的耐环境应力开裂性能得到提高。

关键词：应力开裂FPA含氟表面活性剂含氟聚合物半导体加工超高纯度管道系统开裂性能

分类号： TQ325.12[化学工程—合成树脂塑料工业]TN215[电子电信—物理电子学]