炭/炭复合材料埚帮使用寿命的影响研究

作者：张灵玉,闵明,张旭辉,赵上元,邢如鹏,侯卫权

摘要：针对单晶硅拉晶过程不断受硅化侵蚀造成炭/炭埚帮使用寿命短的问题,从炭/炭埚帮的破坏模式出发,分析了埚帮在单晶硅炉热场中受侵蚀破坏的机理。采用准三维针刺法制备预制体,经化学气相沉积、树脂浸渍炭化、高温处理及热解碳涂层处理后制成炭/炭复合材料埚帮。研究了不同密度、炭纤维含量以及涂层对炭/炭埚帮使用寿命的影响。结果表明随着密度、环向炭纤维含量的提升,炭/炭埚帮的使用寿命明显提升,而炭/炭埚帮表面热解碳涂层能在一定程度上提升其使用寿命,但提升效果有限。

发文机构：西安航天复合材料研究所

关键词：炭/炭复合材料使用寿命侵蚀carbon/carbon compositeservice lifecorrosion

分类号： TQ165[化学工程—高温制品工业]