热解炭涂层在单晶硅用炭/炭热场材料中的应用及研究进展

作者：程皓,赵杉,康媛媛,白鸽,康文杰,苏君明,张永辉

摘要：热解炭涂层技术是目前解决单晶硅生产用炭/炭热场材料高温侵蚀的有效方法之一,本文介绍了热解炭涂层的制备技术及优缺点,综述了热解炭涂层在炭/炭热场材料领域的应用及研究进展,对炭/炭热场材料高温抗侵蚀涂层提出了建议和发展方向。

发文机构：西安超码科技有限公司 西安航天复合材料研究所

关键词：炭/炭热场材料直拉法热解炭涂层carbon/carbon thermal field materialczochralskipyrolytic carbon coating

分类号： TQ127.1[化学工程—无机化工]