微细加工技术
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《微细加工技术》杂志是由国家新闻出版总署批准，信息产业部主管， 中国电子科技集团公司第48研究所主办的国内外公开发行的国家级期刊微电子学与固体电子学类学术期刊。 微细加工技术期刊的创办时间为1983年，出版周期为双月刊。期刊的国内统一刊号：43-1140/TN，国际标准刊号：1003-8213。
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
| 年限 | 2012 | 2013 | 2014 | 2015 | 2016 | 2017 | 2018 | 2019 | 2020 | 2021 |
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| 发文量 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 被引次数 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 序号 | 主题名称 | 相关发文量 | 相关发文学者 |
|---|---|---|---|
| 1 | 光刻 | 152 | 姚汉民 冯伯儒 李艳秋 谢常青 胡松 |
| 2 | 离子注入 | 105 | 张通和 杨建华 颜亨迪 张荟星 陈林 |
| 3 | 电子束曝光 | 78 | 顾文琪 陈宝钦 张福安 陈振生 薛虹 |
| 4 | 刻蚀 | 75 | 徐向东 蔡炳初 田扬超 朱效立 丁桂甫 |
| 5 | 半导体 | 72 | 郭华聪 覃志国 张鹏飞 程仲元 颜亨迪 |
| 6 | 电路 | 67 | 姚汉民 冯伯儒 郭华聪 覃志国 陈旭南 |
| 7 | 微细 | 65 | 王振龙 赵万生 俞学东 王学超 伊福廷 |
| 8 | 集成电路 | 61 | 姚汉民 冯伯儒 郭华聪 覃志国 陈旭南 |
| 9 | 微细加工 | 59 | 俞学东 王学超 伊福廷 毕建华 周光亚 |
| 10 | 曝光机 | 56 | 陈振生 顾文琪 魏守水 张福安 薛虹 |
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2、文章题目力求简明、醒目，中文文题一般以20个汉字以内为宜，可带副题。关键词：3－5个，摘要：150-200字。
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