苏州纳迪首创国内超高纯硅溶胶

摘要：坐落在苏州高新区环保产业同的苏州纳迪微电子有限公司通过自主创新，研制开发出了一系列科技含量极高的微电子化工材料，其中“电子级超高纯硅溶胶”产品为国内首创，主要用于芯片工艺的Cu-CMP、硅晶圆片的最后一步抛光及高级彩色激光打印纸的表面处理等工序中，受到了市场青睐。

关键词：苏州高新区国内首创硅溶胶超高纯电子化工材料Cu-CMP自主创新环保产业

分类号： TQ638[化学工程—精细化工]X196[环境科学与工程—环境科学]