四氟化硅

摘要：1 SiF4的应用及经济概况 四氟化硅在电子和半导体行业中主要用于氮化硅、硅化钽等的蚀刻剂、P型掺杂剂、外延沉积扩散硅源等．还可用于制备电子级硅烷或硅。四氟化硅还可用作光导纤维用高纯石英玻璃的原料．它在高温火焰中水解可产生具有高比表面积的热沉二氧化硅。此外，四氟化硅还广泛用在制备太阳能电池、氟硅酸和氟化铝、化学分析、氟化剂．油井钻探、镁合金浇铸、催化剂、蒸熏剂、水泥及人造大理石的硬化剂等。在预制水泥中使用四氟化硅后．可增进其耐蚀性和耐磨性．改善其孔隙度和增加压缩强度。

关键词：四氟化硅半导体行业高比表面积太阳能电池人造大理石二氧化硅高温火焰石英玻璃

分类号： TQ219[化学工程—有机化工]