高纯电子特气六氟丁二烯的纯化技术进展

作者：李瑜哲,张智勇,艾波,吴高胜,许保云

摘要：六氟丁二烯是一种新型的含氟电子气体,具有优异的蚀刻性能,且更加环保。简述了六氟丁二烯的物理性质、蚀刻特点和产品规范,详细介绍了国内外六氟丁二烯纯化技术的进展。

发文机构：上海化工研究院有限公司 上海三爱富新材料科技有限公司

关键词：六氟丁二烯蚀刻纯化性质进展hexafluoro-1,3-butadieneetchingpurificationpropertydevelpoment

分类号： TQ2[化学工程—有机化工]