有机硅氟资讯 · 2009年第11期 80-81,共2页

我国多晶硅生产工艺有了革命性进步

摘要:11月18日,河北英利集团对外宣布,旗下六九硅业有限公司多晶硅一期项目首次采用新硅烷法生产多晶硅,使我国多晶硅生产工艺有了革命性的进步。

关键词:生产工艺多晶硅革命性硅烷法

分类号: TN304.12[电子电信—物理电子学]TP212.3[自动化与计算机技术—控制科学与工程][自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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