真空科学与技术学报是由国家新闻出版总署备案的刊物，拥有国内国际双刊号，国内刊号：11-5177/TB，国际刊号：1672-7126，由中国真空学会，1981创刊。以真空技术与理论、电子器件、结构薄膜、纳米技术、工艺设备、功能薄膜、真空冶炼为主要征稿方向。
真空科学与技术学报简介
《真空科学与技术学报》主要刊登真空技术、表面与界面物理与化学、表面分析、电子材料、薄膜物理与工艺、真空冶金、等离子体科学与工艺等。
真空科学与技术学报简介
《真空科学与技术学报》主要刊登真空技术、表面与界面物理与化学、表面分析、电子材料、薄膜物理与工艺、真空冶金、等离子体科学与工艺等。
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