微电子制造学报
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《微电子制造学报》杂志是由国家新闻出版总署批准，中国科学院主管， 中国科学院微电子研究所主办的国内外公开发行的国家级期刊微电子学与固体电子学类学术期刊。 微电子制造学报期刊的创办时间为2018年，出版周期为季刊。期刊的国内统一刊号：null，国际标准刊号：2578-3769。
Journal of Microelectronic Manufacturing (JoMM）是由中国科学院微电子研究所、国科大微电子学院联合创办的国际全英文学术期刊，旨在发表集成电路制造领域中从基础研究阶段到工业大规模量产阶段的研究成果，内容包括但不限于Design、Process、Metrology & Yield Control、Packaging、Materials、Equipment 等方面。
| 序号 | 主题名称 | 相关发文量 | 相关发文学者 |
|---|---|---|---|
| 1 | LITHOGRAPHY | 13 | |
| 2 | INDUSTRY | 8 | |
| 3 | EUV | 6 | |
| 4 | MASK | 5 | |
| 5 | SEMICONDUCTOR | 5 | |
| 6 | METROLOGY | 5 | |
| 7 | NAND | 5 | |
| 8 | IN_CHINA | 5 | |
| 9 | CIRCUIT | 4 | |
| 10 | MANUFACTURING | 4 |
1、来稿内容题材新颖、结构严谨、文字凝练、阐论精辟，有一定理论水平和学术价值。文稿字数2000字以上，要有中文标题、关键词、摘要。
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