微电子制造学报杂志社编辑部主编:叶天春,地址:北京市北土城西路3号中科院微电子研究所,邮政编码:100029。
微电子制造学报简介
Journal of Microelectronic Manufacturing (JoMM)是由中国科学院微电子研究所、国科大微电子学院联合创办的国际全英文学术期刊,旨在发表集成电路制造领域中从基础研究阶段到工业大规模量产阶段的研究成果,内容包括但不限于Design、Process、Metrology & Yield Control、Packaging、Materials、Equipment 等方面。